光刻机是什么
光刻机（MaskAligner)又名：掩模对准曝光机 ， 曝光系统 ， 光刻系统等 。一般的光刻工艺要经历硅片表面清洗烘干、涂底、旋涂光刻胶、软烘、对准曝光、后烘、显影、硬烘、刻蚀等工序 。
光刻机一般根据操作的简便性分为三种 ， 手动、半自动、全自动：
1、手动：指的是对准的调节方式 ， 是通过手调旋钮改变它的X轴 ， Y轴和thita角度来完成对准 ， 对准精度可想而知不高了；
2、半自动：指的是对准可以通过电动轴根据CCD的进行定位调谐；
【光刻机是什么】3、自动：指的是从基板的上载下载 ， 曝光时长和循环都是通过程序控制 ， 自动光刻机主要是满足工厂对于处理量的需要 。
推荐阅读
- 12mis含义是什么
- 10h是什么意思
- 核数是什么意思
- 12个月花歌谣是什么
- 14点30分是什么时辰
- x和xs外观区别是什么
- 12349服务平台是什么
- nimh是什么电池
- iphone11pro max用的是什么基带
- 暮然回首上一句是什么